设备名称:管式炉OTF-1200X-4-RTP
生产厂家:科晶仪器
规格型号:小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP
技术指标:1、电源: 208-240V 50/60Hz。2、炉体结构:双层莫来石钢构。3、石英管:外径Φ110mm,内径Φ103mm,长380mm。4、样品架:76mm。5、加热元件:8根红外灯管,灯丝长200mm,丝圈Φ10mm,灯长300mm。6、恒温区:102mm×305mm,均匀性±5℃。7、热偶:K型热偶。8、温度:最高温度1100℃,额定温度1000℃,在1000-1100℃下保温时间不得超过600s。9、控温精度:±1℃。10、最快升温速度:RT-800℃内50℃/s,800-1000℃内10℃/s。11、最快降温速度:60℃/min(在200mtorr下),117℃/min(在一个大气压下)。12、真空度:50mtorr(机械泵),10torr(分子泵)。13、真空法兰:KF-D25,配有两个高温O型圈密封。14、流量计:16-160ml/min。15、真空计:10mtorr-800torr16、水冷:流速3L/min,水温20℃,水压25PSI