设备名称：管式炉OTF-1200X-4-RTP

生产厂家：科晶仪器

规格型号：小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP

技术指标：1、电源： 208-240V 50/60Hz。2、炉体结构：双层莫来石钢构。3、石英管：外径Φ110mm，内径Φ103mm，长380mm。4、样品架：76mm。5、加热元件：8根红外灯管，灯丝长200mm，丝圈Φ10mm，灯长300mm。6、恒温区：102mm×305mm，均匀性±5℃。7、热偶：K型热偶。8、温度：最高温度1100℃，额定温度1000℃，在1000-1100℃下保温时间不得超过600s。9、控温精度：±1℃。10、最快升温速度：RT-800℃内50℃/s，800-1000℃内10℃/s。11、最快降温速度：60℃/min（在200mtorr下），117℃/min（在一个大气压下）。12、真空度：50mtorr（机械泵），10torr（分子泵）。13、真空法兰：KF-D25，配有两个高温O型圈密封。14、流量计：16-160ml/min。15、真空计：10mtorr-800torr16、水冷：流速3L/min，水温20℃，水压25PSI

主要功能：1、石英样品架固定在滑动法兰上，使样品装载更加容易。 2、样品架上放置76mm的AlN基片，承载需要退火的样品。AIN具有很高的热导率，可使样品放置的区域有很　 好的温度均匀性（± 5℃）。 3、内插式热偶保证了温度的准确性。 4、采用PID自动温度控制，30段程序，并设有过热和断偶保护功能。 5、已通过CE认证。

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